FABMATE® 电子束坩埚

FABMATE® 材料介绍

FABMATE® 是一种专为高真空电子束蒸发工艺开发的专利陶瓷复合材料，由 陶瓷基体结合增强石墨纤维 构成。它兼具陶瓷的高温稳定性和石墨的热导性，并具备良好的机械强度与抗热冲击性能。

相比传统的石墨、氧化铝、氮化硼坩埚，FABMATE® 在高蒸发速率、低污染、形变控制和耐寿命周期方面具有出色的综合性能表现。

应用领域

FABMATE® 电子束坩埚广泛用于以下行业高温蒸发工艺中：

• 光学镀膜：如蒸发TiO₂、SiO₂、MgF₂等光学膜材料

• 半导体材料制备：Al、Ge、Ga、In、Cr 等金属薄膜蒸发

• 太阳能薄膜制造：如CIGS、TCO 材料的多层蒸发制程

• 硬质保护膜与功能涂层沉积

• 科研机构与高纯材料制备实验室

产品优势

✅ 非导电性好
避免在电子束加热过程中产生电弧放电，提升聚焦效率与镀膜均匀性。

✅ 耐高温不裂纹
在快速加热冷却循环中保持结构稳定，抗热震性能优于普通陶瓷或石墨。

✅ 极低污染性
不会与常见蒸发材料（如金属、氧化物、氟化物等）发生反应或析出杂质。

✅ 寿命周期长
在高负荷条件下可连续运行多个批次，有效降低更换频率与总运营成本。

✅ 多孔位设计可定制
可根据蒸发源数量、束斑大小、材料种类定制单孔、多孔、分区蒸发结构。

常见结构示例

• 单孔 FABMATE® 坩埚（适用于单一蒸发材料）

• 三孔阶梯型坩埚（用于多材料蒸发或多层镀膜）

• 环形槽型坩埚（提升材料利用率与蒸发速率）

• 插入式内胆结构（嵌入铜坩埚内部，热耦合良好）

包装与服务

所有 FABMATE® 电子束坩埚在出厂前均进行清洁除尘处理，并以无尘袋独立封装，外层采用高密度泡沫和加固纸箱或木箱包装，确保运输安全和产品洁净度。

苏州科跃材料支持来图定制，工程师可协助匹配适用于您现有 E-Beam 系统的专用坩埚结构。