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石墨电子束坩埚

石墨电子束坩埚

项目 参数说明
产品名称 石墨电子束坩埚（Graphite E-Beam Crucible）
材质 高纯石墨（通常 ≥99.9% C）
结构类型 单孔、多孔、带台阶、夹层型、槽型等
尺寸范围 可按需定制孔径、深度、外径等尺寸
适用设备 电子束蒸发镀膜设备（E-Beam Evaporators）
导热性能 高导热性，保证快速均匀加热
使用温度 可耐受温度高达 3000°C（在真空或惰性气氛中）
特性 耐高温、低热膨胀率、化学稳定性强、不污染材料

描述

产品描述

石墨电子束坩埚是用于电子束蒸发系统中的关键耗材，主要用于高纯金属、氧化物、氟化物等材料的真空镀膜。由于石墨具有优异的热导率、极高的熔点和低热膨胀系数，因此成为高温电子束熔化与蒸发的理想材料。

这些坩埚通常安装于铜坩埚或水冷坩埚中使用，可根据蒸发材料的不同类型设计为单孔、多孔、台阶结构等形状，从而提高蒸发效率和材料利用率。

应用领域

石墨E-beam坩埚广泛应用于以下领域：

  • 半导体镀膜：蒸发镀制Al、Ti、Au等导电薄膜

  • 光学薄膜：用于蒸发TiO₂、SiO₂、MgF₂等抗反射和增强膜材料

  • 太阳能行业：用于沉积功能层（如透明导电膜）

  • 硬质涂层：蒸发W、Mo、Cr等耐磨涂层金属

  • 科研实验：材料物理、薄膜特性研究等高温真空实验

优势特点

  • 高纯度材质：避免对镀膜材料造成污染

  • 定制化服务：可根据电子束源尺寸和蒸发材料种类设计最佳结构

  • 极佳的热稳定性：保证长期高温下结构不变形

  • 性价比高：与金属坩埚相比，具有更低的成本与更长的使用寿命

包装与运输

每件石墨坩埚均使用无尘袋独立包装，并放入抗震泡沫或泡沫箱中，最后装入坚固的纸箱或木箱，确保运输途中的安全与产品洁净。

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常见问题

Sputtering targets are materials used in thin-film deposition processes to create coatings on substrates. They are used in industries like semiconductors, optics, photovoltaics, and electronics.

Evaporation materials are used in Physical Vapor Deposition (PVD) processes, where materials are heated and evaporated to form a thin film on a substrate. These are critical for applications in optics, wear protection, and decorative coatings.

Boat crucibles are used as containers for evaporation materials during PVD processes. They help to uniformly evaporate materials onto the substrate for thin film formation.

Sputtering uses energetic particles to eject material from a target, while evaporation involves heating a material until it vaporizes and deposits on a substrate. Both are common methods in Physical Vapor Deposition (PVD) for creating thin films.

Consider the material composition, purity, target size, and application-specific requirements such as the thickness and uniformity of the film.

Yes, we offer customized sputtering targets, evaporation materials, and crucibles to meet specific customer requirements for size, material composition, and purity.

Yes, we can assist in selecting the most suitable material based on your application, whether it’s for optical coatings, semiconductor fabrication, or decorative finishes.

Yes, we offer both bulk and small quantities of sputtering targets, evaporation materials, and spherical powders to support research, prototyping, and development projects.

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