氧化铝电子束坩埚

产品简介

氧化铝电子束坩埚是专为电子束蒸发系统（E-Beam）设计的高温坩埚，广泛应用于对材料纯度和成膜质量要求极高的薄膜蒸发领域。其主体材料为高纯致密氧化铝，具有极佳的绝缘性、热稳定性和抗腐蚀性能，适合多种金属、氧化物、氟化物的蒸发使用。

通过精密烧结加工和尺寸控制，氧化铝坩埚可用于夹持在铜坩埚、石墨夹具或水冷座中，避免交叉污染并延长系统寿命。

应用领域

氧化铝E-Beam坩埚广泛应用于以下高技术行业：

• 光学薄膜制造：蒸发氧化物（如TiO₂、Al₂O₃、SiO₂、ZrO₂）用于生产抗反射膜、硬质保护膜、增透膜等光学元件

• 半导体工业：用于蒸发铝、铜、铟、锗等金属材料，精密控制薄膜厚度与纯度

• 太阳能产业：用于沉积ITO、AZO等透明导电膜和吸光层材料

• 功能陶瓷薄膜沉积：如氮化物、氧化物陶瓷靶材蒸发

• 高纯材料实验研究：科研机构用于高温条件下的材料蒸发、合成和包覆

产品优势

✅ 优异的热稳定性：可在高温下长期使用，热膨胀系数低，不易开裂
✅ 良好的化学惰性：对多数金属和氧化物材料不反应，避免污染
✅ 电绝缘性好：确保电子束聚焦稳定性
✅ 可替代Pt、W坩埚：在非还原环境下性价比更高
✅ 结构多样可定制：可设计为嵌套型、阶梯型、槽型，适应不同蒸发平台

常见结构类型（可定制）

• 阶梯型坩埚：外径与铜坩埚或水冷坩埚精准贴合

• 单孔型：用于单一材料蒸发

• 多孔型：适用于多源共蒸发

• 夹层型/套装型：用于绝热保护和防污染

• 氧化铝内衬杯：作为石墨坩埚的内衬，提高耐腐蚀能力并防止污染

包装方式

每件氧化铝电子束坩埚均使用洁净防尘袋封装，外部采用抗震泡沫保护，并装入纸箱或木箱中，确保产品在运输与储存过程中的完整性与洁净性。