氧化铝涂层蒸发源

铝氧化物涂层蒸发源已被开发用于替代某些特定应用中的铝氧化物坩埚。这种类型蒸发源的优点包括良好的热传导性以及铝氧化物对大多数金属的惰性。此外，蒸发材料不会润湿铝氧化物，因此当蒸发材料熔化时，蒸发舟的电阻不会发生变化。由于铝氧化物具有不润湿的特性，蒸发材料在熔化时会形成球状，从而产生一个点源。这种类型的蒸发源相比于未保护的蒸发源具有更长的使用寿命。 然而，由于热传导性能的差异，涂层蒸发源在实现蒸发时需要多出30%至50%的功率。所使用的铝氧化物为半导体级，通过等离子喷涂技术涂覆于蒸发舟或篮上。应避免温度达到1850°C，当开始蒸发时，应适当降低功率以避免过热。