微电子舟式加热器

概述

在选择加热器形状时,应考虑所需加热区域的大小以及所处理材料的类型。这些舟式加热器可用于多次加热相同的材料。

独木舟形

独木舟形

#048: Tantalum Boat

覆盖形

侧孔 – 已覆盖

#049: Molybdenum
#050: Tantalum 
#051: Tungsten

端孔 – 已覆盖

#052: Molybdenum
#053: Tantalum 
#054: Tungsten

凹槽形

半英寸凹点

#055: Molybdenum
#056: Tantalum
#057: Tungsten

四分之一英寸凹点

#058: Tungsten

9/32英寸凹点

#059: Molybdenum #060: Tantalum

半英寸凸帽式凹点

#061: Molybdenum #062: Tantalum #063: Tungsten

倒置顶帽型凹点

#064: Molybdenum
#065: Tantalum
#066: Tungsten 

9/32 英寸顶帽型凹点

#067: Molybdenum
#068: Tantalum
#069: Tungsten 

带缺口的凹点

#070: Molybdenum
#071: Tantalum
#072: Tungsten 

槽形

带缺口的槽形结构

#073: Molybdenum
#074: Tantalum 
#075: Tungsten

带缺口的槽形结构

#076: Molybdenum
#077: Tantalum 
#078: Tungsten

带缺口的槽形结构

#076: Molybdenum
#077: Tantalum 
#078: Tungsten