微电子篮式加热器

概述

钨篮式加热器具有多种形状，可将材料直接装入篮中进行加热。请选择与您的基片尺寸相匹配、并适合所需加热材料特性或形态的加热器形状。对于反复加热同一种材料的应用，这些加热器通常可以多次重复使用且效果良好。

4圈

#001W: 钨 (Tungsten), 5.0伏(V), 2.9安(A), 23瓦(W), 1800°C，4圈，1股线 × 0.030″直径 #002W: 钨 (Tungsten), 5.0伏(V), 2.66安(A), 42瓦(W), 1800°C，4圈，3股线 × 0.025″直径

5圈

#003W: 钨 (Tungsten), 5.0伏(V), 3.77安(A), 87瓦(W), 1800°C，5圈，1股线 × 0.030″直径 #004W: 钨 (Tungsten), 5.0伏(V), 3.54安(A), 152瓦(W), 1800°C，5圈，3股线 × 0.025″直径

#005W: 钨 (Tungsten), 5.0伏(V), 4.25安(A), 136瓦(W), 1800°C，5圈，1股线 × 0.040″直径 #006W: 钨 (Tungsten), 5.0伏(V), 5.0安(A), 220瓦(W), 1800°C，5圈，3股线 × 0.025″直径

#007W: 钨 (Tungsten), 5.0伏(V), 4.93安(A), 108瓦(W), 1800°C，6圈，1股线 × 0.030″直径 #008W: 钨 (Tungsten), 5.0伏(V), 4.57安(A), 183瓦(W), 1800°C，6圈，3股线 × 0.025″直径

#009W: 钨 (Tungsten), 5.0伏 (V), 2.48安 (A), 57瓦 (W), 1800°C，5圈，1股线 × 0.030″直径

#010W: 钨 (Tungsten), 5.0伏 (V), 2.3安 (A), 90瓦 (W), 1800°C，5圈，3股线 × 0.025″直径

#011W: 钨 (Tungsten), 5.0伏 (V), 5.95安 (A), 125瓦 (W), 1800°C，12圈，1股线 × 0.030″直径

#012W: 钨 (Tungsten), 5.0伏 (V), 5.51安 (A), 220瓦 (W), 1800°C，12圈，3股线 × 0.025″直径

#011：单股丝，直径 0.762mm / 0.03″
#012：三股丝，直径 1.000mm / 0.04″

#013：单股丝，直径 0.762mm / 0.03″
#014：三股丝，直径 1.000mm / 0.04″

钨丝加热器常用于高真空薄膜沉积系统中，用于加热基片或装有待沉积材料的坩埚。钨丝的形状和股数选择取决于基片的面积需求以及被加热材料的特性。

选择钨丝时需考虑的关键因素包括：

综上所述，选择合适的钨丝需要综合考虑成本、尺寸、加热均匀性及寿命等因素，以满足沉积工艺和基片的具体要求。与钨丝制造商沟通，有助于选择最佳方案。

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